本发明属于单晶硅棒加工设备领域，旨在提供一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备；其中包括底架、切方动力头驱动组件、磨削动力头驱动组件、外罩单元、边皮输送机构、尺寸检测单元、晶向检测单元、切磨工作台和机械手及储料台组件；所述底架中部设有两根平行的主导轨，所述切磨工作台安装于两根主导轨上，并由设置在底架上的主驱动电机通过底架上的主丝杆进行驱动，使其能沿着主导轨移动；本发明的有益效果有：晶棒的切方磨削加工在一台设备中全自动进行，可有效缩短晶棒流转的耗时；切方磨削工作相互独立，同时进行加工，节约加工耗时；切方磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍地提高加工效率。