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一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台
编号:S000016518 刷新日期: 有效日期至:2020-11-08 浏览:2026 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 山东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台,由基座、运动平台、压电陶瓷驱动器、位移放大机构及导向机构等部分组成。第一、第二压电陶瓷驱动器相互垂直地放置在基座上各自的圆柱形槽内,驱动器的输出端紧靠在位移放大机构的输入铰链上,经位移放大机构和导向机构将运动传递给运动平台。本发明采用二级放大机构和复合平行四杆导向机构,使得微动平台结构紧凑,能在实现大行程运动的同时保证高的固有频率,X轴方向和Y轴方向能够有效解耦,压电陶瓷驱动器和柔性铰链平台的组合保证了运动传递的无摩擦,无间隙、高精度、高稳定性和快速响应。运动平台在X轴、Y轴方向上均设有位移传感器,便于实现微动平台的全闭环控制。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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