本发明揭示的工艺与设备适合低挥发性液体的真空脱水，特别是汽轮机油、齿轮油、液压油等润滑油的真空脱水。本发明的方案是对现有的液体真空脱水工艺作以下改进：采用一种可同时抽液体和气体的排液真空泵，在真空罐的底部或中下部将气体与液体同时抽出真空罐，在真空罐的上部设置冷凝器将水蒸气冷凝成水或冰，由排水装置排出真空罐。