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一种MEMS电容开关
编号:S000015550 刷新日期: 有效日期至:2020-12-31 浏览:1989 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种MEMS电容开关,属于电子科学技术领域。包含带绝缘层的基底,信号传输线和两侧的地电极,信号传输线表面有介质层,介质层表面具有三个金属覆盖区,两个地电极上分别具有一个固定锚点,两个固定锚点支撑起驱动电极结构;驱动电极结构为“两翼”型阶跃结构,包括中间的第一驱动电极和两翼的第二、三驱动电极,第一驱动电极两侧采用固支梁与固定锚点相连,第二、三驱动电极分别采用悬臂梁与第一驱动电极相连,第二、三驱动电极与信号传输线之间的距离大于第一驱动电极与信号传输线之间的距离;三个驱动电极的面积依次增大。本发明可实现3个工作频段,并且具有插入损耗低、隔离度高、下拉电压低的特点,可应用于射频或微波通信系统中。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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