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微波太赫兹波探测器及其制备方法
编号:S000015418 刷新日期: 有效日期至:2020-10-26 浏览:2460 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明揭示了一种微波太赫兹波探测器及其制备方法,以高电子迁移率晶体管为基本结构,该探测器在有源区的台面设有背栅和至少一个长度介于1μm至1mm的条状结构,条状结构中设有呈凹型结构或带指状的正栅,条状结构的两端形成与二维电子气通道欧姆接触的电极,且凹型结构凹处或指与电极的间距为0.5μm至500μm,其中所述背栅刻蚀深度为直达衬底。并且本发明提出了完整而可行的该种探测器制备方法。应用本发明的技术方案,较之于传统的探测器系统的显著优点为:能够无需依赖任何光学元件辅助,即可实现对微波-太赫兹波辐射的功率响应和频率响应,为降低探测器系统复杂程度、减少成本提供了一种切实保障。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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