本发明是一种柔性共面波导制造方法，通过选择合适的柔性介质材料，在介质材料上通过薄膜沉积、光刻和腐蚀的方法制造柔性共面波导，从而实现柔性射频系统所需的柔性传输线。柔性共面波导将应用于柔性微波器件、柔性微波电路及柔性微波系统中。选用聚酰亚胺柔性衬底材料，采用薄膜沉积设备在衬底上沉积金属薄膜，对金属薄膜进行光刻并腐蚀出所需要的共面波导图形，从而制造出柔性共面波导。使用该方法制造出的柔性共面波导具有尺寸小、集成度高、性能可靠的优点。