本发明公开了一种微波激励气体的装置及方法，微波源产生的高功率微波脉冲经输出耦合波导进入十字结构微波谐振腔中形成驻波分布，在场分布最强的交叉区域放置空芯光子晶体光纤；光纤两头分别通过密封装置连接气体腔；气体腔内在光纤端口附近安装谐振腔片，开两口分别作为抽真空口和气体进口。本发明没有大体积的储气筒和气体循环系统，器件可以变得很小巧，没有放电电极，不会产生放电粉尘污染工作气体，工作气体和光学元件寿命可以得到延长，微波源工作电压相对较低，某些场合应用安全系数相对较高，空芯光子晶体光纤对光束的优化可以提高光束质量，满足对光束质量要求高的应用。