本发明涉及一种聚焦装置，尤其是涉及一种微波超分辨率聚焦装置。装置由三个部分组成，第一部分为微波准直器，用于实现对入射微波的扩束与准直；第二部分为微波聚焦透镜，用于将微波平面波束转变为会聚波束；第三部分为超分辨率匹配透镜，放置在微波聚焦透镜的焦面，可对会聚波束实现超分辨率聚焦，形成亚波长量级的聚焦点。该装置具有结构简单、设计灵活、超分辨聚焦等优点，有望在微波合成、微波成像、催化等领域得到重要应用。