本发明提供一种高集成度等距等分核酸扩增微流控芯片，依次由盖玻片层、反应层、修饰层与封接层由下而上热键合组成，其中反应层设有n个反应模块，反应模块利用多层软光刻技术制作出流通通道、反应微腔室和进样口。本发明芯片保证样品引入小室前的流通距离相等，进样量均等，避免反应体积不均造成的误差。降低实验成本。提高了进样速度。可以实现实时定量检测。本发明芯片设计合理，结构及操作简单，制作成本低，可在实时荧光定量核酸扩增、数字核酸扩增、核酸扩增的单细胞分选、SNP的检测、单碱基突变的检测、拷贝数失衡的检测、单细胞基因表达谱的研究、癌症标志物的早期检测、干细胞分化鉴定以及细胞分选鉴定等中应用。