本发明涉及一种分离含有机硅氧烷的污水的工艺，它包括初级除油区、强化除油区和集水区三个功能区，初级除油区采用塑料阶梯填料除油，强化除油区采用多级塑料阶梯填料和玻璃珠隔油，集水区采用石英砂进一步除油。本发明去油效果好，经处理后的水可完成除油的目的，且污水中悬浮物小于20毫克/升，COD小于200毫克/升，可直接排放。