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偏转轴可自由变换的二维MEMS倾斜镜
编号:S000068061 刷新日期: 有效日期至:2020-10-29 浏览:2384 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种偏转轴可以自由变换的二维MEMS倾斜镜,其上电极单边非对称的固定在基底上,通过在倾斜镜的不同排布方式的下电极块上加相同的电压值或在相同排布方式的下电极块上加不同的电压值,或将以上两种方案综合使用,完成二维MEMS倾斜镜的偏转轴的自由变换。本发明的倾斜镜灵活性高,有效提高了倾斜镜的光路转换效率和质量,降低了使用成本,有利于促进倾斜镜在光通讯、投影显示、光学成像以及激光共焦显微等领域的进一步应用。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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