本发明公开了一种基于质量流量控制器的模拟工艺系统和方法，包括集气罐，集气罐设有多个气体入口，每个气体入口之后分别设有质量流量控制器，质量流量控制器设有数字通信单元，数字通信单元通过串口与主控计算机连接，进行数字通讯，主控计算机可实时控制和获取MFC的流量检测数据，直接用计算机对工艺步骤进行模拟控制，选择合适的数据存入MFC的存储器中，完成对质量流量控制器的控制，这样就省去了人工的参与过程。