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一种柔性BMN薄膜压控变容管的制备方法
编号:S000067400 刷新日期: 有效日期至:2020-11-06 浏览:2327 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种柔性BMN薄膜压控变容管的制备方法,首先采用固相烧结法制备BMN即Bi1.5MgNb1.5O7靶材和ZnO靶材,以铜箔为衬底,利用磁控溅射沉积技术,使用Ar作为溅射气体,在铜箔上进行沉积得到厚度为30~60nm的ZnO薄膜,再沉积得到厚度为150-300nm的Bi1.5MgNb1.5O7薄膜,再利用掩膜版在Bi1.5MgNb1.5O7薄膜上面制备金属电极,制得柔性BMN薄膜压控变容管。本发明压控变容管的调谐率适中(≥25%,测试频率为1MHz),且器件稳定性好,为通讯和柔性电子设备的开发和应用提供了优良的电子元器件基础。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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