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> 技术详情
一种柔性BMN薄膜压控变容管的制备方法
编号:S000067400
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-06
浏览:
2501
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种柔性BMN薄膜压控变容管的制备方法,首先采用固相烧结法制备BMN即Bi
1.5
MgNb
1.5
O
7
靶材和ZnO靶材,以铜箔为衬底,利用磁控溅射沉积技术,使用Ar作为溅射气体,在铜箔上进行沉积得到厚度为30~60nm的ZnO薄膜,再沉积得到厚度为150-300nm的Bi
1.5
MgNb
1.5
O
7
薄膜,再利用掩膜版在Bi
1.5
MgNb
1.5
O
7
薄膜上面制备金属电极,制得柔性BMN薄膜压控变容管。本发明压控变容管的调谐率适中(≥25%,测试频率为1MHz),且器件稳定性好,为通讯和柔性电子设备的开发和应用提供了优良的电子元器件基础。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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