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真空控制装置
编号:S000067140 刷新日期: 有效日期至:2020-12-05 浏览:2309 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
在一种真空控制装置中,该真空控制装置带有至少一个用于将真空输出到真空消耗器处的基础单元(13),其中,基础单元(13)具有用于供给和工作联接件的供给和工作接口(20)以及用于安装在供给和工作接口(20)处的供给和工作联接件(15,16,28a,28b);用于排气排出单元(29,31)的排气接口(30)以及至少一个用于安装在排气接口(30)处的排气排出单元(29,31);用于吹气控制器(32,33)的吹气控制接口(40)以及至少一个用于安装在吹气控制接口(40)处的吹气控制器(32,33);以及用于与外部的电子控制装置通讯的通讯接口(50),供给和工作联接件具有用于安装多个结合成组件的基础单元(13)的共用联接件(16)以及用于安装单个基础单元(13)的专用联接件(15)。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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