本发明涉及一种数字式光学膜厚控制仪，包括放大器、滤波器、A/D模块、嵌入式计算机系统、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口，放大器与参考信号、测试信号以及滤波器连接，滤波器与A/D模块连接，嵌入式计算机系统与A/D模块、键盘、显示器、开关、存储器和通讯接口连接，其特征在于所述嵌入式计算机系统中设置有软件程序，根据初始设定值和键盘输入进行控制、跟踪显示、参数设置和通讯。本发明结构合理，安全可靠，用软件实现信号变换、数字滤波、数字锁相和数字运算，克服模拟设计存在的问题，减少了电子线路的相互干扰，提高了整机的抗干扰能力和镀膜产品的合格率。