一种光刻机同步时序控制的串行数据通讯系统，同步总线控制器通过同步数据总线实时向工件台运动控制卡、掩膜台运动控制卡、对准运动控制卡发布同步信息，运动控制卡接收到同步总线控制器的伺服间隔同步信号和状态同步信号，分别综合成光纤触发信号和状态信号，发送给下层I/O控制板、对准控制系统和调平调焦控制系统。本发明实现了一种步进扫描投影光刻机多个控制单元之间的实时数据通讯及其同步控制。