本发明涉及一种臭氧尾气强化臭氧氧化废水处理的方法及装置。所述方法使臭氧氧化反应尾气中的臭氧和氧气电催化还原为过氧化氢；所述过氧化氢催化臭氧产生羟基自由基，将废水中的有机物矿化分解。所述处理装置包括连通的预电解单元和臭氧氧化单元；所述臭氧氧化单元的尾气出口连入预电解单元。通过本发明，不仅充分利用了尾气中的氧气和臭氧资源，不需破坏处理，同时强化了臭氧氧化的处理效果。