一种表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用系统，包括：清洗液储存槽，用以储存清洗液；碳纤维过滤器，用以过滤清洗液的微小颗粒并吸附氯；臭氧氧化器，用以产生臭氧并氧化有机物，且回送至清洗液储存槽；高压泵，用以抽取并加压清洗液储存槽中的清洗液以形成高压处理液；以及逆渗透模块，用以接收高压处理液并进行逆渗透处理以产生渗透液以及浓缩液，且浓缩液至少包含高浓度的硫酸铜，且浓缩液可输送出去，当作镀液中铜的额外来源。因此，本发明表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用系统可具体实现回收清洗液中的铜，达到零排放及零污泥的目标。