本发明公开了一种多晶硅废水处理装置和方法，装置包括：陶瓷膜系统；其中，所述陶瓷膜系统，包括料液箱、供料泵、循环泵、陶瓷膜、透过液箱以及多个连接管道，其中，在连接管道上还设有压力调节阀门和/或仪器仪表。通过管道还连接有液体分离器，包括：分离腔体和与其相连接的流体储箱、流量供给泵，其中，所述流量供给泵设于分离腔体和所述流体储箱之间。其中，该方法能够将原有的污染物处理转换为工业资源回收利用，变废为宝，有极高的经济价值和环境效益。