本发明涉及一种对玻璃基板等进行蚀刻之后需要废弃处理的氢氟酸的废水处理方法。根据本发明，为了使氟离子成为沉淀物，加入酸、含钙盐和氢氧化钙，形成氟化钙沉淀，并且与酸一起加入包含铁盐或铝盐的助凝剂，形成氟化亚铁以及氟化铝沉淀，并且进行中和，在此加入高分子凝结剂，形成淤渣，然后进行过滤，由此能够将废水中的氟离子浓度降低到几百分之一。本发明的高浓度氢氟酸废水处理方法具有非常环保，并且还可以降低废水处理费用的优点。