本发明公开了制备含有臭氧和具有低于用于在厌氧消化器中处理有机废物原料的预定百分数的氧浓度的“载气”或吹扫气体的气流的系统和方法。在一个实施方案中，将臭氧和未反应的氧气从臭氧发生器传送到变压吸附循环，其中所述臭氧吸附到筛网上且将过量的氧气从所述循环中除去。随后将具有受限的氧浓度的吹扫气体用以使臭氧从所述变压吸附循环脱附且将所述臭氧传送到厌氧消化器，在此将所述臭氧用以处理所述原料。