一种用于净水厂的模块组合式活性氧粒子发生装置，属于放电等离子体化学应用技术领域，该装置包括氧等离子体反应模块组合系统、冷却水循环系统和分区激励电源三部分，通过将模块化的氧等离子体反应模块的气体通路和冷却水通路根据净水工艺的需求进行合理的串联和并联组合，同时采用分区激励供电技术，大幅度提高了活性氧粒子的浓度和产量，最高活性氧粒子的浓度可达200g/m³以上（以氧计），活性氧粒子的单机产量超过2kg/h，有效地解决了常规活性氧粒子发生装置在高浓度下难以获得高产量的难题，并可实现活性氧粒子的分路输出，增加了使用的灵活性、机动性和方便性，进而为净水厂饮用水净化工艺的改善提供了新技术装置。