本发明提供一种在工作线上对清洗污水循环回收利用的方法与装置，主要特征是在湿制程设备的机台下方设置沿着机台之长度方向的连通空间，再于该连通空间设置污水净化处理模块，所述湿制程设备在工作过程中所产生的污水直接被输入该污水净化处理模块进行净化处理，至获得达到设定水质标准的净化水后，再回输至湿制程设备的给水管路中以重复提供湿制程设备清洗之用，实现在工作线上直接对污水进行回收﹑过滤﹑净化的循环回收利用；藉由前述装置，可以避免用于湿制程设备之污水净化处理模块对空间的占用，从而降低生产成本，提供更好的工作环境。