本发明公开了一种超纯水机，它包括壳体，壳体中设置有预纯化柱、超纯化柱、精密过滤器（13）、紫外消解器（14）、反渗透膜柱（16）、供水泵和增压泵，供水泵通过进水电磁阀与预纯化柱连接，预纯化柱与精密过滤器（13）连接，精密过滤器（13）与紫外消解器（14）连接，紫外消解器（14）与超纯化柱连接，超纯化柱与增压泵连接，增压泵与反渗透膜柱（16）连接，反渗透膜柱（16）与三通电磁阀（25）连接。本发明还公开了一种水处理方法。本发明的优点在于，成本低，能耗低。