本发明提供了一种硅切割液回收蒸馏水的循环工艺，通过简单的工艺设计实现100%循环利用，有效的将蒸馏水补充在各个用水环节，整个回收用水与排水构成一个封闭循环系统；避免了高COD污水的直排，等效于切割液的充分利用，投资小、见效快；实用性强。