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用于提供超纯水的方法和系统
编号:S000039984 刷新日期: 有效日期至:2020-12-22 浏览:2231 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:能源与环保 - 废物利用
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
提供了一种用于为半导体制作操作提供超纯水的方法和系统。通过利用自由基清除系统和自由基除去系统对水进行处理。自由基清除系统可以利用借助自由基原始化合物(诸如过硫酸铵)的光化辐射。自由基除去系统可以包括对还原剂的使用。可以通过利用离子交换介质和除气装置来对超纯水进一步进行处理。可以利用控制系统来调整原始化合物的添加、光化辐射的强度以及还原剂向水的添加。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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