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> 技术详情
用于提供超纯水的方法和系统
编号:S000039984
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-22
浏览:
2231
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
能源与环保 - 废物利用
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
提供了一种用于为半导体制作操作提供超纯水的方法和系统。通过利用自由基清除系统和自由基除去系统对水进行处理。自由基清除系统可以利用借助自由基原始化合物(诸如过硫酸铵)的光化辐射。自由基除去系统可以包括对还原剂的使用。可以通过利用离子交换介质和除气装置来对超纯水进一步进行处理。可以利用控制系统来调整原始化合物的添加、光化辐射的强度以及还原剂向水的添加。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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