本发明公开了一种五轴三自由度机械手臂内包材传递系统，内包材传递系统安装在洁净室(35)内，它包括机械手、真空小车(42)、接收平台和控制装置，所述真空小车(42)和接收平台分别位于机械手的两侧，洁净室(35)的两侧分别设有低洁净等级传递间门和高洁净等级传递间门，真空小车(42)位于低洁净等级传递间门一侧，接收平台位于高洁净等级传递间门一侧；机械手设有五轴三自由度，机械手转动时，能分别与真空小车(42)和接收平台的工作面对应。本发明不仅提高了效率，还减轻了操作者劳动强度，最重要的是，避免了人传递带来的风险，尤其值得在生物制药、食品、兽药生产等领域推广。