本发明公开了一种高压纳秒脉冲电源装置，包括：串联的第一碳化硅NMOS管和第二碳化硅NMOS管，第一碳化硅NMOS管的源极与第二碳化硅NMOS管的漏极相连，第二碳化硅NMOS管的源极接地；直流电压源，其高压端与第一碳化硅NMOS管的漏极相连，低压端接地；储能电容，其一端与直流电压源的高压端相连，另一端接地；变压器，其初级线圈的一端连接至第一碳化硅NMOS管的源极和第二碳化硅NMOS管的漏极之间，另一端接地，其次级线圈的两端构成输出端；第一光电耦合器，其受光器经过第一门驱动器与第一碳化硅NMOS管的门极相连；和第二光电耦合器，其受光器经过第二门驱动器与第二碳化硅NMOS管的门极相连。本发明具有控制灵活、电磁兼容性好、脉冲宽度小、重复频率高等优点。