本发明公开了一种谐振式高精度脉冲充电电源，包括有频率发生器、直流电源、电源储能电容器，采取LC谐振倍压充电的工作方式同时对MO腔和PA腔的充电电容器进行充电，以使双腔具有相同的充电电压，并设计了一条MO腔和PA腔充电电压的泄放回路，以使充电电压微量泄放到精确值。本发明可以同时为双腔准分子激光器的充电电容器同时充电，并且可以高重频充电，充电电压有较高的精度，同时，本发明的脉冲充电频率也是双腔准分子激光器的工作频率，提高了充电电压的精度，减少电路的功率消耗，保证工作时充电电压的稳定。