本发明涉及一种高导电性有机（无机）/金属/无机（有机）多层结构透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在刚性或柔性平面基板上制备第一介质层；在所述的第一介质层上制备金属层；在所述的金属层上制备第二介质层；所述第一介质层的材料为任意一种有机或无机半导体材料，或任意多种有机或无机半导体材料的混合物；所述第二介质层的材料为任意一种无机或有机半导体材料，或任意多种无机或有机半导体材料的混合物。本发明的高导电性有机（无机）/金属/无机（有机）多层结构透明导电薄膜，具有较高的可见光透过率以及较低的面电阻，具有在薄膜太阳能电池及有机发光二极管等光电器件领域应用的潜质。