本发明公开了一种掺杂多孔硅球的制备方法，该方法包括：选用一定掺杂浓度的硅球，氢氟酸清洗后，先用硝酸盐和氢氟酸，辅助超声后再用氢氟酸和氧化剂配制的溶液在一定的时间和温度条件下反应，再经离心清洗，最后通过硝酸清洗等后处理制备纳米多孔硅球。本发明通过大量实验筛选出最佳的反应溶液的种类、最佳浓度，各组份的最佳配比和反应温度和反应时间，超声的最佳频率及处理时间。整个制备方法，工艺设计合理，可操作性强，生产成本低廉，生产效率高，可大规模工业化生产。本发明制备得到的高纯度的掺杂多孔硅球，孔形规则，布置均匀，呈蜂窝状，球形规整，可广泛应用于锂电池、太阳能电池、半导体和传感器等领域。