本发明涉及一种太阳能光伏装备，具体为一种阵列式硅片装载靶盘，包括带外框体的支撑台和支撑台上方安装的N个呈水平阵列式排列的静电吸附盘，硅片装载靶盘还包括设在支撑台下凹空间内的硅片顶架，硅片顶架包括用于支撑硅片的顶架框，并在支撑台下方设有控制硅片顶架上下运动的顶架驱动机构；所述硅片顶架的顶架框上设有与对应静电吸附盘连接的定位连接机构。通过本发明的阵列式硅片装载靶盘，可以在有限的空间内装载多个硅片同时进行工艺处理，提高生产效率，独立吸盘可以更稳定可靠吸持硅片，还可降低硅片的温度，维持硅片在一定温度范围内，满足工艺要求，特别适合高真空洁净环境中的硅片工艺处理。