本发明公开了一种化学水浴沉积硫化镉薄膜的方法及装置，所述方法包括以下步骤：（1）清洗衬底并吹干；（2）安装衬底；（3）预热衬底；（4）配置溶液；（5）反应沉积；（6）后续处理：将镀膜衬底用去离子水冲洗，然后吹干或烘干。所述装置包括反应容器和恒温箱，漫淋槽、衬底、专用夹具和传输装置均置于恒温箱内，反应溶液流经加热器后注入漫淋槽，专用夹具与衬底底部设有传输装置。本发明不采用恒温水浴装置、搅拌装置和超声波辅助沉积，适于连续化生产，提高了生产效率并且对衬底仅单面镀膜，改善了衬底镀膜后的美观度，沉积的硫化镉薄膜均匀且致密，成膜质量高，满足薄膜太阳能电池缓冲层需要。