该发明属于微纳光学及太阳能材料领域中的带金属纳米颗粒阵列光能增透片的生产方法。包括：激光束聚集器及纳米颗粒沉积基片的制备，配制纳米级贵金属悬浮液，沉积处理，冲冼及干燥。该发明采用透明光学玻璃作的正四棱锥台作为激光束的聚集器及沉积基片，采用四束完全相同的平行激光束分别垂直于棱锥台的四个侧面射入四棱锥台及基片内，利用激光全反射产生的二维激光消逝波驻波在常温、常压下对该贵金属纳米颗粒悬浮液进行照射处理。因而具有沉积装置的结构及沉积处理工艺简单、可靠，工艺条件要求低，可对不同贵金属进行沉积处理，阵列周期及高度可以方便进行调节，能耗及制作成本低，可在较大面积上进行贵金属纳米级颗粒阵列的沉积等特点。