本发明属于太阳能和激光技术领域，具体为一种上转换发光的Er/Yb共掺杂TiO₂薄膜的制备方法。本发明采用射频磁控溅射技术，靶材使用镶嵌金属Er片和Yb片的TiO₂陶瓷靶，基片为石英或硅片；射频磁控溅射制备得上转换发光的稀土元素Er/Yb共掺杂TiO₂薄膜，并通过控制靶材中Er和Yb的含量来控制掺杂量，从而得到致密性好，均匀程度高，机械和光学性能优良的上转换发光薄膜。