本发明涉及一种提高产业化硅薄膜电池组件性能的制备方法，采用预沉积非晶硅薄膜来降低产业化硅薄膜电池的污染问题，属于薄膜太阳能电池生产技术领域。技术方案是：在硅薄膜电池制备方法的等离子体清洗/沉积工序中引入预沉积非晶硅薄膜工艺，反应腔室经过氟等离子体刻蚀清洗后，采用等离子增强化学气相沉积工艺，控制辉光功率和硅烷浓度，预沉积非晶硅薄膜，降低残留在反应腔室内的氟、硫或氧浓度，进而提高产业化硅薄膜电池组件的光电转换效率。本发明不需要停止设备，不影响系统的嫁动率，又降低了污染，同时有效提高电池效率。