本发明公开了高温真空集热管表面耐磨、自洁减反膜制备方法，属于膜制备技术领域。该法以无水乙醇为溶剂，酸催化硅酸乙酯水解，加入不同比例的十六烷基三甲基溴化胺后得到的两种不同组成的硅溶胶，利用上述两种溶胶在标准高温真空集热管内外壁提拉法镀制的双层氧化硅膜，经350~500℃煅烧2小时后，再用10%三甲基氯氧硅烷乙醇溶液浸泡修饰，得到与玻璃管基体结合紧密，耐磨强度高，疏水角达120°实用性减反膜。本发明玻璃管表面的减反膜除了保持有较高的太阳光透射率外，减反膜与玻璃基体结合牢固，耐磨性能良好。减反膜经三甲基氯氧硅烷处理后，减反膜表面具有120°疏水角，具备自洁功能。