CuAlO₂透明导电薄膜具有宽禁带、低电阻率、可见光范围高光学透过率等特性，可广泛应用于太阳能电池、平面显示、电磁防护罩、功能窗、传感器以及其它光电器件领域。本发明涉及一种p型CuAlO₂光电薄膜材料，提供了一种结晶质量好、高c轴取向、高透过率的CuAlO₂薄膜制备方法。本发明首先采用脉冲激光沉积技术，以CuAlO₂为靶材，在蓝宝石衬底上沉积CuAlO₂薄膜，然后对制备的薄膜样品进行了900-1100℃高温气氛退火处理，获得了高结晶度、均匀致密、高c轴择优取向的纯相CuAlO₂薄膜。本发明制备工艺简单、容易控制、重复性好、沉积速率稳定、绿色环保。