本发明公开了一种通过光助电沉积法在二氧化钛纳米管上制备稀土Eu掺杂CaF₂薄膜的方法。本发明以一种光助电沉积的方法于乙二胺四乙酸钠和Ca²⁺、Eu³⁺分别络合的中性混合电解液中进行恒电位电沉积，于二氧化钛纳米管上得到具有球状形貌的稀土Eu掺杂CaF₂薄膜电极，再把薄膜电极在空气氛围中煅烧，后又对不同阳极沉积电量下沉积得到的稀土Eu掺杂CaF₂薄膜电极进行了模拟太阳光下的光电性能测试，考察了阳极沉积电量对稀土Eu掺杂CaF₂薄膜电极光电性能的影响。本发明使用的原料成本低廉，设备简单，易于操作，同时具有环境友好等优点。