一种在ITO导电薄膜表面刻蚀极细电隔离槽的方法，首先在ITO导电薄膜玻璃基底的反面溅射金属铬；将ITO导电薄膜玻璃基底固定在载物台上，有金属铬的一面在激光发射区域一侧，保持ITO导电薄膜一侧需要刻槽的区域不接触载物台；最后，利用皮秒激光进行后向刻蚀ITO导电薄膜，皮秒激光光束中心线必须与ITO导电薄膜表面保持垂直，而且皮秒激光的焦点位置在整个加工过程中须保持在ITO导电薄膜层上，本发明有效缩小薄膜太阳能电池中ITO薄膜表面槽宽，又保证皮秒激光加工的效率，提升薄膜太阳能电池制造的整体水平。