本发明公开了一种制备新型导电氧化铟靶材及氧化铟薄膜的方法，由添加第三种元素在本来的二元氧化物中，以提高电载子移动性来提高透光性及导电性，并首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关靶材，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常电弧的产生，延长靶材寿命及利用率，提高溅镀薄膜质量及性能，有效提高CIGS太阳能电池的效率，满足了生产的要求。