本发明揭示一种具有高密度的太阳能电池用CIS系列化合物薄膜的制造方法。本发明的太阳能电池用CIS系列化合物薄膜的制造方法包括下列步骤：步骤1，制造CIS系列化合物纳米粒子；步骤2，把上述CIS系列化合物纳米粒子、螫合剂(chelating？agent)及溶剂混合制成CIS系列化合物浆；步骤3，把上述CIS系列化合物浆予以涂层(coating)而形成CIS系列化合物薄膜；及步骤4，对上述CIS系列化合物薄膜进行热处理；本发明凭此让作为薄膜太阳能电池的吸光层使用的CIS系列薄膜的结构致密化。