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一种提高晶体硅基体有效寿命的吸杂方法
编号:S000031947 刷新日期: 有效日期至:2020-11-30 浏览:2349 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种提高晶体硅基体有效寿命的吸杂方法,采用磷源对去除表面损伤层的晶体硅基体进行重磷扩散吸杂后,将磷吸杂后的晶体硅基体去除磷扩散层并进行后续工序即可,重磷扩散吸杂包括磷扩散恒温过程以及磷吸杂的二段降温过程,磷扩散恒温过程时恒温区的温度为800℃~950℃,时间为30~50min,磷吸杂的二段降温过程中,第一段的温度范围为950~800℃,处理时间为5~30min,第二段的温度范围为800~700℃,处理时间为30~90min,降温速率均为2~10℃/min,该方法可提高光生载流子的有效寿命,增加太阳能电池光电转化效率,能完全与现有的太阳能电池生产工艺相兼容,可直接应用于太阳能电池的大规模生产。
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