一种铜锌锡锗硒薄膜，包括依次层叠的入光层、中间层及背光层；所述入光层包括第一入光面及与所述第一入光面相对的第一背光面，所述入光层的材料中锗与锡的摩尔比值沿所述第一入光面到所述第一背光面的方向逐渐降低；所述中间层的材料与所述第一背光面处材料中锗与锡的摩尔比值相等；所述背光层包括与所述中间层相连的第二入光面及远离所述中间层的第二背光面，所述第一背光面通过所述中间层与所述第二入光面相连接，所述背光层的材料中锗与锡的摩尔比值沿所述第二入光面到所述第二背光面的方向逐渐升高。同时还提供了一种铜锌锡锗硒薄膜的制备方法及使用该铜锌锡锗硒薄膜的太阳能电池。