本发明公开了一种铜铟镓硒太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，该装置包括：外腔体，其设有用于基片进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置；位于所述外腔体内的至少两个反应腔体，每个所述反应腔体设有用于基片进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置，所述反应腔体上分别设有硒蒸汽管或硫蒸汽管；置于所述反应腔体外的多个加热器；包覆在所述反应腔体外的热反射层，所述加热器置于所述反应腔体和热反射层之间；以及输送基片进出所述反应腔体的输送机。采用本发明，可实现基片的硒化与硫化反应，确保硒化与硫化反应的工艺要求。