一种铜锌锡硫硒薄膜，包括依次层叠的由铜锌锡硒及铜锌锡硫材料制成的入光层、中间层及背光层；所述入光层包括第一入光面及第一背光面，所述入光层的材料中硫与硒的摩尔比值沿所述第一入光面到所述第一背光面的方向逐渐降低；所述背光层包括与所述中间层相连的第二入光面及远离所述中间层的第二背光面，所述背光层的材料中硫与硒的摩尔比值沿所述第二入光面到所述第二背光面的方向逐渐升高；其中，所述第一背光面处材料与所述第二入光面处材料中硫与硒的摩尔比值相等。上述铜锌锡硫硒薄膜能提高对光生载流子的收集效率，进而提高了使用该薄膜的太阳能电池的光电转换效率。同时还提供了该铜锌锡硫硒薄膜的制法及一种铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池。