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衬底处理装置、太阳能电池的制造方法及衬底的制造方法
编号:S000031535 刷新日期: 有效日期至:2020-11-06 浏览:2221 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种衬底处理装置,所述衬底处理装置用于形成CIS类太阳能电池的光吸收层,进行硒化或硫化处理,其中,具有与石英制的腔室相比易于加工的炉体。另外,本发明提供了与石英制的腔室相比易于加工的腔室。所述衬底处理装置具有:处理室,容纳有多个衬底,所述衬底形成有由铜-铟、铜-镓或铜-铟-镓中的任一种形成的层合膜;反应管,以构成处理室的方式形成;气体供给管,向处理室中导入含硒元素气体或含硫元素气体;排气管,将处理室内的气体排出;及加热部,以包围反应管的方式设置,其中,反应管的基材由不锈钢等金属材料形成。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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