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> 技术详情
衬底处理装置、太阳能电池的制造方法及衬底的制造方法
编号:S000031535
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-06
浏览:
2221
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种衬底处理装置,所述衬底处理装置用于形成CIS类太阳能电池的光吸收层,进行硒化或硫化处理,其中,具有与石英制的腔室相比易于加工的炉体。另外,本发明提供了与石英制的腔室相比易于加工的腔室。所述衬底处理装置具有:处理室,容纳有多个衬底,所述衬底形成有由铜-铟、铜-镓或铜-铟-镓中的任一种形成的层合膜;反应管,以构成处理室的方式形成;气体供给管,向处理室中导入含硒元素气体或含硫元素气体;排气管,将处理室内的气体排出;及加热部,以包围反应管的方式设置,其中,反应管的基材由不锈钢等金属材料形成。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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