本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的绒面结构的制备方法，包括如下步骤：(1)将待处理的硅片经酸液或碱液腐蚀，在硅片表面形成微米级的绒面结构；(2)将步骤(1)得到的硅片进行气体腐蚀，在所述微米级的绒面结构上进一步形成纳米级的绒面结构；气体腐蚀所用的气体包括氮氧化物气体、水蒸气和氟化氢；所述氮氧化物气体选自一氧化氮、二氧化氮和四氧化二氮中的一种或几种。本发明在现有的微米级绒面结构的基础上，进一步采用气体腐蚀在微米级绒面结构的基础上形成纳米级的绒面结构，从而进一步降低表面反射率。