本发明公开了一种光诱导电镀制备太阳能电池表面栅状电极的方法及装置。本发明方法包括硅片预处理、电镀状态设置、遮光板设置、光诱导电镀工序，通过光诱导电镀方式将金属离子直接沉积于硅片表面形成栅状电极。本发明装置包括电镀池、光源、导线、对电极，所述的电镀池底部设置光源，所述的电镀池两侧设置对电极，所述的对电极与硅片背电极连接，所述的电镀池底部或下侧面设置有排水口和/或加热装置，所述的电镀池上部设置栅状遮光板且置于硅片N区表面下方。本发明实现了在太阳能电池硅片上直接电镀制备栅状电极，无需传统方法的开槽和预置种子层工序，降低了生产成本，克服了现有丝网印刷技术高宽比小、接触电阻和体电阻高、效率低的不足。