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带梯度层的太阳能吸收器层系统和制造它的方法及装置
编号:S000031451 刷新日期: 有效日期至:2020-09-27 浏览:2491 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及太阳能吸收器层系统以及用于通过至少两个靶(9、10)的阴极溅射在基底上制造出梯度层的方法和用于在具有至少一个涂层隔间的真空涂层设备中沉积出太阳能吸收器层系统的梯度层的装置,基底经过靶并以具有分梯度的层被涂层。进行作为金属陶瓷梯度层的吸收层(32)的沉积,该吸收层具有金属的和陶瓷的成分,一种是基体而另一种是分布在该基体内的微粒。沉积由双靶实现,双靶的第一靶提供金属陶瓷的陶瓷的组成部分并且包括陶瓷的材料,而这个双靶的第二靶提供金属陶瓷的金属的组成部分,其中,金属靶作为主要组成部分包括金属成分的氧化物、氮化物或氮氧化物或这些金属成分的金属。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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